[发明专利]感测元件有效

专利信息
申请号: 201811416477.2 申请日: 2018-11-26
公开(公告)号: CN110707175B 公开(公告)日: 2021-03-26
发明(设计)人: 游腾健 申请(专利权)人: 精準基因生物科技股份有限公司
主分类号: H01L31/101 分类号: H01L31/101
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 罗英;臧建明
地址: 中国台湾新北市淡*** 国省代码: 台湾;71
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摘要: 发明提供一种感测元件,包括半导体基板、过滤结构以及感测结构。半导体基板具有样品激发区以及光学感测区。光学感测区侧向包围样品激发区于其中。过滤结构嵌设于半导体基板中,其中过滤结构配置于样品激发区中且具有样品容纳部。样品容纳部适于容纳样品且接纳激发光束。感测结构嵌设于半导体基板中,其中感测结构的至少一部分配置于光学感测区中,且感测结构至少侧向包围过滤结构。在激发光束沿着垂直于半导体基板的表面的方向传递至样品容纳部并激发样品后,样品适于发射信号光束,且感测结构适于感测信号光束。
搜索关键词: 元件
【主权项】:
1.一种感测元件,包括:/n半导体基板,具有样品激发区以及光学感测区,所述光学感测区侧向包围所述样品激发区于其中;/n过滤结构,嵌设于所述半导体基板中,其中所述过滤结构配置于所述样品激发区中且具有样品容纳部,所述样品容纳部适于容纳样品且接纳激发光束;以及/n感测结构,嵌设于所述半导体基板中,其中所述感测结构的至少一部分配置于所述光学感测区中,且所述感测结构至少侧向包围所述过滤结构,/n其中,在所述激发光束沿着垂直于所述半导体基板的表面的方向传递至所述样品容纳部并激发所述样品后,所述样品适于发射信号光束,且所述感测结构适于感测所述信号光束。/n
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