[发明专利]一种直写光刻设备的位置同步方法及系统有效
| 申请号： | 201811417217.7 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109407471B | 公开（公告）日： | 2021-07-16 |
| 发明（设计）人： | 赵美云 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种直写光刻设备的位置同步方法及系统，属于光刻设备技术领域，包括其用于通过DMD数字微镜图像中设置的FPGA处理器，对DMD数字微镜图像输出与运动平台之间的位置进行同步，包括如下步骤：FPGA处理器对单端信号进行检测，该单端信号为运动平台的驱动器输出的位置同步信号转化得到；在检测到单端信号时，触发FPGA处理器内部输出一个时钟信号；利用时钟信号触发输出DND数字微镜和运动平台之间的扫描数据。本发明将位置同步信号作为指示运动平台是否到达指定的曝光位置的信号，降低了运动平台驱动器输出PSO信号的依赖性，避免出现运动平台驱动器PSO信号丢失时造成的图形曝光的不连续。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 设备 位置 同步 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种直写光刻设备的位置同步方法，其特征在于，其用于通过DMD数字微镜图像中设置的FPGA处理器，对DMD数字微镜图像输出与运动平台之间的位置进行同步，FPGA处理器进行位置同步包括如下步骤：FPGA处理器对单端信号进行检测，该单端信号为运动平台的驱动器输出的位置同步信号转化得到；在检测到单端信号时，触发FPGA处理器内部输出一个时钟信号；利用所述时钟信号触发输出DND数字微镜和运动平台之间的扫描数据。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥芯碁微电子装备股份有限公司，未经合肥芯碁微电子装备股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811417217.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
