[发明专利]一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法在审
| 申请号： | 201811418269.6 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109358474A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 魏云飞 | 申请（专利权）人： | 合肥芯碁微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 合肥天明专利事务所(普通合伙) 34115 | 代理人： | 奚华保 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置及控制方法，属于激光直写曝光技术领域，包括A气动门主体、B气动门主体、A控制阀门、B控制阀门、控制装置和供气调节管路；A气动门主体的气路接口与A控制阀门连接，A气动门主体的磁性开关接口与控制装置的DI接口连接；A控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，A控制阀门的控制接口与控制装置的DO接口连接；B气动门主体的气路接口与B控制阀门连接，B气动门主体的磁性开关接口与控制装置的DI接口连接；B控制阀门气路接口与供气调节管路输出连接，B控制阀门的控制接口与控制装置的DO接口连接。本发明可实现气动门稳定平滑控制。 | ||
| 搜索关键词： | 气动门 控制阀门 控制装置 气路接口 激光直写 供气 磁性开关 控制接口 输出连接 曝光机 平滑控制 曝光技术 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光直写曝光机气动门的控制装置，其特征在于，包括：A气动门主体（1）、B气动门主体（2）、A控制阀门（3）、B控制阀门（4）、控制装置（5）和供气调节管路（6）；所述A气动门主体（1）的气路接口与A控制阀门（3）连接，A气动门主体（1）的磁性开关接口与控制装置（5）的DI接口连接；A控制阀门（3）气路接口与供气调节管路（6）输出连接，A控制阀门（3）的控制接口与控制装置（5）的DO接口连接；所述B气动门主体（2）的气路接口与B控制阀门（4）连接，B气动门主体（2）的磁性开关接口与控制装置（5）的DI接口连接；B控制阀门（4）气路接口与供气调节管路（6）输出连接，B控制阀门（4）的控制接口与控制装置（5）的DO接口连接。
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