[发明专利]一种硅片贴片机有效

专利信息
申请号: 201811418727.6 申请日: 2018-11-26
公开(公告)号: CN109545717B 公开(公告)日: 2023-09-15
发明(设计)人: 徐继东;胡晓光;厉惠宏 申请(专利权)人: 金瑞泓科技(衢州)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 代理人: 宋缨;孙健
地址: 324000 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及一种硅片贴片机,包括料盘进出盒升降装置、陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、涂蜡装置、翻转贴片装置、加压冷却装置,左右对称布置有料盘进出盒升降装置,每个料盘进出盒升降装置的后方均设置有传送机构,两个传送机构的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置、陶瓷盘加热台、翻转贴片装置以及加压冷却装置,所述的翻转贴片装置的前方设置有涂蜡装置。本发明自动化程度高,适合大批量生产。
搜索关键词: 一种 硅片 贴片机
【主权项】:
1.一种硅片贴片机,包括料盘进出盒升降装置(16)、陶瓷盘刷洗装置(20)、陶瓷盘加热台(21)、涂蜡装置(24)、翻转贴片装置(22)、加压冷却装置(23),其特征在于:左右对称布置有料盘进出盒升降装置(16),每个料盘进出盒升降装置(16)的后方均设置有传送机构(17),两个传送机构(17)的后部之间从左往右依次安装有陶瓷盘刷洗装置(20)、陶瓷盘加热台(21)、翻转贴片装置(22)以及加压冷却装置(23),所述的翻转贴片装置(22)的前方设置有涂蜡装置(24);所述的料盘进出盒升降装置(16)包括第一工作台(1)、升降架顶板(2)和固定框架底板(6),所述的第一工作台(1)上方水平布置有升降架顶板(2),该升降架顶板(2)的下端四周均竖直安装有导杆(5),所述的第一工作台(1)上设置有与导杆(5)相配的导套(4),所述的导杆(5)的下端穿过导套(4)与第一工作台(1)下方布置的升降架底板(11)固定,所述的第一工作台(1)一侧竖直布置有丝杆(12),该丝杆(12)的下端穿过升降架底板(11)与固定框架底板(6)中部转动连接,所述的固定框架底板(6)两侧对称布置有与第一工作台(1)下端相连的固定框架立板(9),所述的丝杆(12)穿过第一工作台(1)的上端安装有第一从动带轮(3),该第一从动带轮(3)一侧安装有第一伺服电机(14),所述的第一伺服电机(14)的输出轴上安装有第一主动带轮,该第一主动带轮通过皮带与第一从动带轮(3)相连,所述的升降架底板(11)上安装有套在丝杆(12)上并与丝杆(12)螺纹连接的连接套(13),所述的升降架顶板(2)的后端中部开有矩形缺口(25),所述的第一工作台(1)上端位于矩形缺口(25)内的左右两侧对称布置有第一安装板(26),两个第一安装板(26)之间均匀布置有若干第一转轴(27),所述的第一转轴(27)的两侧安装有第一滚轮(30),两个第一安装板(26)之间的中部横向安装有第二伺服电机(28),该第二伺服电机(28)的输出轴上安装有驱动轮(29);所述的传送机构(17)包括第二安装板(33)、第三伺服电机(35)和第二转轴(36),所述的第一工作台(1)上端位于料盘进出盒升降装置(16)后方并排布置有两个第二安装板(33),两个第二安装板(33)之间均匀布置有若干个第二转轴(36),所述的第二转轴(36)的两侧安装有第二滚轮(31),该第二转轴(36)的一端安装有从动链轮(32),其中一个第二安装板(33)上安装有第三伺服电机(35),该第三伺服电机(35)的输出轴上安装有主动链轮(34),所述的主动链轮(34)通过链条与从动链轮(32)相连;所述的陶瓷盘加热台(21)与加压冷却装置(23)之间安装有第二工作台(37),该第二工作台(37)上端前后分别安装有涂蜡装置(24)和翻转贴片装置(22);所述的涂蜡装置(24)包括辅助升降气缸(42)、升降台(47)和第四伺服电机(49),所述的第二工作台(37)上端的前后两侧均竖直布置有辅助升降气缸(42),每个辅助升降气缸(42)的活塞杆上端均安装有辅助吸盘(104),两个辅助升降气缸(42)之间并排布置有两个第一升降气缸(48),所述的第一升降气缸(48)的上端与升降台(47)相连,该升降台(47)中部内安装有真空罩杯(52),所述的真空罩杯(52)内设置有真空腔(51),该真空罩杯(52)的下端安装有第四伺服电机(49),所述的真空腔(51)内转动安装有加长轴(53),该加长轴(53)穿过真空罩杯(52)的上端连接有第一吸盘(46),所述的加长轴(53)的下端与第四伺服电机(49)的输出轴相连,所述的加长轴(53)内设置有用于连接第一吸盘(46)和真空腔(51)的真空通道(54),所述的真空罩杯(52)的一侧开有与真空腔(51)连通的通孔(55),该通孔(55)通过气管与抽真空设备相连,所述的升降台(47)的上方设置有甩涂蜡箱(45),该甩涂蜡箱(45)的上端连接有滴蜡管(44),位于后方的辅助升降气缸(42)其上方设置有烤蜡箱(43),所述的第二工作台(37)的左右两侧均设置有前后滑动的滑台立板(106),两个滑台立板(106)的下端通过滑台底板(105)相连,所述的第二工作台(37)底部安装有与滑台底板(105)相连的磁偶气缸(41),每个滑台立板(106)的上端均对应安装有三个硅片置板(107);所述的第二工作台(37)位于涂蜡装置(24)的后方设置有转动升降平台(38),所述的翻转贴片装置(22)包括翻转架底板(63)、升降缸坐板(65)和翻转臂(67),所述的第二工作台(37)位于转动升降平台(38)与涂蜡装置(24)之间安装有前后滑动的升降缸坐板(65),该升降缸坐板(65)前方安装有移位气缸(56),所述的移位气缸(56)的活塞杆与升降缸坐板(65)固定,所述的升降缸坐板(65)的上端中部竖直安装有翻转架升降缸(60),该翻转架升降缸(60)的活塞杆上端与翻转架底板(63)相连,所述的翻转架底板(63)的上端两侧对称布置有轴承支座(57),两个轴承支座(57)之间安装有翻转轴(58),所述的翻转轴(58)一端通过联轴器(61)与翻转架底板(63)一侧安装的摆动气缸(62)相连,该翻转轴(58)的中部安装有翻转臂(67),所述的翻转臂(67)的自由端安装有第二吸盘(59),所述的翻转架底板(63)上端位于翻转轴(58)的前、后侧均安装有缓冲器(66);所述的加压冷却装置(23)包括第三工作台(73)、下冷却盘(75)、上冷却盘(76)和第二升降气缸(82),所述的第三工作台(73)上端中部安装有第二升降气缸(82),该第二升降气缸(82)上端的活塞杆与下冷却盘(75)相连,所述的第三工作台(73)上端位于第二升降气缸(82)的两侧均竖直安装有直线轴承(74),该直线轴承(74)内安装有上下滑动的第一导向轴(81),所述的第一导向轴(81)的上端与下冷却盘(75)的下端一侧固定,所述的第三工作台(73)位于下冷却盘(75)的上方水平布置有横梁(80),该横梁(80)上安装有上冷却盘基板(78),所述的上冷却盘基板(78)的两侧均竖直安装有吊柱套(79),每个吊柱套(79)内安装有上下浮动的吊柱(77),所述的吊柱(77)的下端与上冷却盘(76)相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于金瑞泓科技(衢州)有限公司,未经金瑞泓科技(衢州)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811418727.6/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top