[发明专利]基于CexMn1-xO2-SnO2材料的气体传感器及其制备和应用在审
申请号: | 201811419008.6 | 申请日: | 2018-11-26 |
公开(公告)号: | CN109596676A | 公开(公告)日: | 2019-04-09 |
发明(设计)人: | 张晶晶;宁占武;朱小锋;赵鹏;张艳妮;刘锦华;刘凝 | 申请(专利权)人: | 北京市劳动保护科学研究所 |
主分类号: | G01N27/12 | 分类号: | G01N27/12;C01G19/02;C01G45/00 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 王文君;王文红 |
地址: | 100054 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种基于CexMn1‑xO2‑SnO2材料的气体传感器,包括陶瓷基片,测试电极,加热电极,半导体气敏材料层;所述陶瓷基片的一面为正面,另一面为背面,在正面上设置测试电极,所述测试电极为叉指电极;在陶瓷基片正面、包括所述叉指电极上方覆盖所述半导体气敏材料层;在陶瓷基片的背面设置所述加热电极。本发明还提出所述气体传感器的制备和应用。本发明的提出的气体传感器对有机气体污染物有很高的敏感,尤其对苯系物气体敏感度高,检出限低,满足当前对特征组分较低检测限的要求和对难降解污染物的检测需求。 | ||
搜索关键词: | 气体传感器 陶瓷基片 半导体气敏材料 制备和应用 测试电极 叉指电极 加热电极 有机气体污染物 难降解污染物 陶瓷基片正面 气体敏感度 背面设置 苯系物 检出限 检测 背面 测试 敏感 覆盖 | ||
【主权项】:
1.一种基于CexMn1‑xO2‑SnO2材料的气体传感器,其特征在于,包括陶瓷基片,测试电极,加热电极,半导体气敏材料层;所述陶瓷基片的一面为正面,另一面为背面,在正面上设置测试电极,所述测试电极为叉指电极;在陶瓷基片正面、包括所述叉指电极上方覆盖所述半导体气敏材料层;构成所述半导体气敏材料层的材料为CexMn1‑xO2‑SnO2,0<x<1;在陶瓷基片的背面设置所述加热电极。
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