[发明专利]物体内断面变形量测量系统有效
| 申请号： | 201811419092.1 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109540017B | 公开（公告）日： | 2020-10-20 |
| 发明（设计）人： | 周奥丰;周延周 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/16 | 分类号： | G01B11/16 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 510060 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种物体内断面变形量测量系统，光源部用于发出相干宽带光，准直调节部用于将光源部发出的光准直并将调节后的光引导入射到干涉部，干涉部用于将光分成照射到被测物的一路光和照射到参考面的一路光，并将由被测物返回的反射光和由参考面返回的反射光汇合而发生干涉；分光聚焦部用于将干涉部出射的干涉光分光形成光谱并聚焦，采集记录部用于采集并记录干涉光光谱，数据处理部用于根据采集记录部记录的干涉光光谱计算出被测物内断面沿深度方向的变形量。本发明物体内断面变形量测量系统基于光学相干层析成像及测量原理，实现了测量物体内断面沿深度方向的变形量。 | ||
| 搜索关键词： | 物体 断面 变形 测量 系统 | ||
【主权项】：
1.一种物体内断面变形量测量系统，其特征在于，包括光源部、准直调节部、干涉部、参考面、分光聚焦部、采集记录部和数据处理部；所述光源部用于发出相干宽带光，所述准直调节部用于将所述光源部发出的光准直并将调节后的光引导入射到所述干涉部，所述干涉部用于将光分成照射到被测物的一路光和照射到所述参考面的一路光，并将由被测物返回的反射光和由所述参考面返回的反射光汇合而发生干涉；所述分光聚焦部用于将所述干涉部出射的干涉光分光形成光谱并聚焦，所述采集记录部用于采集并记录干涉光光谱，所述数据处理部用于根据所述采集记录部记录的干涉光光谱计算出被测物内断面沿深度方向的变形量。
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