[发明专利]一种新型真空用旋转门阀在审
| 申请号： | 201811419523.4 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109296813A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张俊峰;赵子东;许春立;张大剑 | 申请（专利权）人： | 上海子创镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K31/12 | 分类号： | F16K31/12;F16K31/54 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201505 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种新型真空用旋转门阀，它涉及门阀技术领域，包括门阀，门阀通过上安装轴承座和下安装轴承座按在在腔室进出口处，上气缸通过上齿条、上齿轮和联轴器与门阀传动连接，下气缸通过下齿条、下齿轮和下联轴器与门阀传动连接，腔室上下部分别设置有上齿轮限位部件和下齿轮限位部件，门阀上的门阀轴上设置有门阀轴限位装置，阀板通过连接套、钩头键安装在门阀轴上。本发明密封可靠，动作灵敏，确保基片快速通过立式镀膜线的进口和出口，提高了整个真空镀膜生产线效率。 | ||
| 搜索关键词： | 门阀 传动连接 限位部件 新型真空 上齿轮 下齿轮 与门阀 轴承座 腔室 真空镀膜生产线 进口和出口 动作灵敏 下联轴器 镀膜线 钩头键 联轴器 连接套 上齿条 上气缸 下齿条 下气缸 阀板 轴限 密封 | ||
【主权项】：
1.一种新型真空用旋转门阀，其特征在于，包括门阀(1)，门阀(1)通过上安装轴承座(2)和下安装轴承座(3)按在在腔室(4)进出口处，上气缸(5)通过上齿条(6)、上齿轮(7)和上联轴器(8)与门阀(1)传动连接，下气缸(9)通过下齿条(10)、下齿轮(11)和下联轴器(12)与门阀(1)传动连接，腔室(4)上下部分别设置有上齿轮限位部件(13)和下齿轮限位部件(14)，门阀(1)上的门阀轴(15)上设置有门阀轴限位装置(16)，阀板(17)通过连接套(18)、钩头键(19)安装在门阀轴(15)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海子创镀膜技术有限公司，未经上海子创镀膜技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811419523.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高压瓶阀
- 下一篇：气缸控制装置及活塞致动装置
