[发明专利]载流子浓度的测量方法及系统有效
| 申请号： | 201811421203.2 | 申请日： | 2018-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN109342548B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 李登峰;孙方稳;陈向东;李燊 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01N27/72 | 分类号： | G01N27/72;G01N27/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 任岩 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种载流子浓度的测量方法及系统，其中，该测量方法包括：放置含有NV色心的金刚石与待测样品，使得金刚石中NV色心与待测样品的距离满足准静态近似的条件；测量金刚石中NV色心的自旋弛豫速率；以及基于金刚石中NV色心的自旋弛豫速率，并根据金刚石中NV色心自旋弛豫速率与载流子浓度的标定关系曲线得到待测样品的载流子浓度。该测量方法在测量的过程中可以实现非侵入性实时测量，不破坏待测样品的电学性能，不影响载流子的浓度和空间分布。 | ||
| 搜索关键词： | 载流子 浓度 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种载流子浓度的测量方法，其特征在于，包括：放置含有NV色心的金刚石与待测样品，使得金刚石中NV色心与待测样品的距离满足准静态近似的条件；测量金刚石中NV色心的自旋弛豫速率；以及基于金刚石中NV色心的自旋弛豫速率，并根据金刚石中NV色心自旋弛豫速率与载流子浓度的标定关系曲线得到待测样品的载流子浓度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学技术大学，未经中国科学技术大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811421203.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
