[发明专利]一种薄膜材料的赛贝克系数测量装置及方法在审
| 申请号： | 201811422155.9 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109738481A | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 缪向水;张军;童浩;陈子琪;王愿兵;蔡颖锐;李小平;聂群 | 申请（专利权）人： | 武汉嘉仪通科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N25/20 | 分类号： | G01N25/20 |
| 代理公司： | 北京汇泽知识产权代理有限公司 11228 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 430000 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种薄膜材料的赛贝克系数测量装置及方法，所述装置包括样品载台、衬底、激光器、电压表、第一热电偶和第二热电偶，待测试的薄膜材料采用薄膜沉积方法制备于所述衬底上，所述衬底放置于所述样品载台上，所述第一热电偶和第二热电偶均与电压表电连接；所述第一热电偶和第二热电偶与所述衬底上的薄膜材料表面形成欧姆接触，且所述第一热电偶与薄膜材料的接触点位于激光器照射时的激光光斑位置，通过所述第一热电偶和第二热电偶测量薄膜材料上两热电偶接触点之间的温度差值；通过电压表测量薄膜材料上两热电偶接触点之间的电势差。本发明采用非接触加热，利于薄膜材料面内产生恒定温差，可有效进行薄膜材料的赛贝克系数测量。 | ||
| 搜索关键词： | 热电偶 薄膜材料 衬底 赛贝克系数测量 电压表 接触点 薄膜材料表面 激光光斑位置 激光器照射 热电偶测量 薄膜沉积 测量薄膜 恒定温差 欧姆接触 激光器 电连接 电势差 非接触 载台 制备 加热 测试 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜材料的赛贝克系数测量装置，其特征在于，所述装置包括样品载台、激光器、电压表、第一热电偶和第二热电偶，所述样品载台上放置有待测试的薄膜材料，所述第一热电偶和第二热电偶均与电压表电连接；所述激光器，用于产生激光束照射在薄膜材料上；所述第一热电偶和第二热电偶，用于在测量时与薄膜材料表面形成欧姆接触，所述第一热电偶与薄膜材料的接触点和所述第二热电偶与薄膜材料的接触点之间间隔有一定距离，且所述第一热电偶与薄膜材料的接触点位于激光器照射时的激光光斑位置，通过所述第一热电偶和第二热电偶测量薄膜材料上两热电偶接触点之间的温度差值；所述电压表，用于测量薄膜材料上两热电偶接触点之间的电势差。
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