[发明专利]一种微机电系统红外探测器及其制作方法

摘要

本发明提供一种微机电系统红外探测器，包括配置至少二垂直导电区的衬底，相对固定于衬底、配置至少二电极的热敏感器件，及数量与电极的数量相同，电连接电极与垂直导电区的导电引线；其中，衬底配置热绝缘层，热绝缘层位于热敏感器件于衬底的投影面处。本发明提供MEMS红外探测器的结构，热敏感器件用于接收红外辐射信号，输出电学感应信号，将热敏感器件上面朝向待探测区域，并于热敏感器件的下部的热绝缘层，并于下热敏感器件的下部设置引线结构，提高测量的精准度。基于此，本发明还提供了一种微机电系统红外探测器的制作方法。

主权项

1.一种微机电系统红外探测器，其特征在于，包括衬底(9)，配置至少二垂直导电区(8)，热敏感器件(4)，相对固定于衬底(9)，配置至少二电极(5)；及导电引线(6)，数量与所述电极(5)的数量相同，电连接电极(5)与垂直导电区(8)；其中，衬底(9)配置热绝缘层，所述热绝缘层位于所述热敏感器件(4)于所述衬底(9)的投影面处。