[发明专利]一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置及制备方法

摘要

本发明公开了一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置及制备方法，制备装置包括超声雾化系统和反应系统，所述超声雾化系统包括雾化罐进气管道、超声雾化仪、雾化罐和雾化罐排气管道，所述超声雾化仪与雾化罐底部连接，所述雾化罐顶部设有前驱体溶液注入孔。本发明不需要提供特殊气氛范围，设备工艺简单，在成膜过程中借助超声雾化仪对前驱体溶液进行雾化，雾化产生的前驱体溶液雾化气通过载气输送到反应室的压电换能单元辐射面与衬底之间的间隙空间，利用压电换能单元辐射面与衬底之间所产生超声场中的声辐射力和声学流等非线性效应，将间隙中的气溶胶驱动并输送到加热衬底上进行成膜。

主权项

1.一种超声辅助的纳米敏感薄膜制备装置，包括超声雾化系统和反应系统，其特征在于：所述超声雾化系统包括雾化罐进气管道、超声雾化仪、雾化罐和雾化罐排气管道，所述超声雾化仪与雾化罐底部连接，所述雾化罐顶部设有前驱体溶液注入孔，所述雾化罐一侧与雾化罐进气管道相连通，另一侧通过雾化罐排气管道与反应系统连接；所述反应系统包括压电换能单元、反应室排气管道、反应室、衬底、加热器和弹性元件，所述反应室底部与加热器连接，所述加热器上端面且位于反应室内设有衬底，所述反应室顶部通过弹性元件与压电换能单元连接，所述压电换能单元辐射面与衬底平行且形成间隙空间，所述反应室排气管道与反应室相连，用于反应废气的排出；所述雾化罐排气管道与反应室相连，并伸入到压电换能单元辐射面与衬底形成的间隙空间处。