[发明专利]一种钛铜复合圆靶在审
| 申请号： | 201811424391.4 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109468599A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 石璋 | 申请（专利权）人： | 宝鸡市华烨钛镍金属有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 石淑珍 |
| 地址： | 721000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种钛铜复合圆靶，包括钛圆靶主体，所述钛圆靶主体外环套有铜环体，所述钛圆靶主体为圆台型结构，所述第二环体段外侧设有内螺纹，其内侧设有外螺纹，与所述第二圆柱段外侧的外螺纹配合连接，不用通过钎焊的方式做绑定，装配方便，大大简化了工艺程序，提高了效率，所述钛圆靶主体由高纯钛材料制成，保证了金属薄膜材料的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 圆靶 外螺纹 钛铜 金属薄膜材料 复合 圆台型结构 工艺程序 配合连接 主体外环 装配方便 高纯钛 内螺纹 圆柱段 绑定 钎焊 铜环 保证 | ||
【主权项】：
1.一种钛铜复合圆靶，其特征在于，包括钛圆靶主体(1)，所述钛圆靶主体(1)外环套有铜环体(2)，所述钛圆靶主体(1)为圆台型结构，所述钛圆靶主体(1)包括第一圆柱段(11)、第二圆柱段(12)，所述第二圆柱段(12)外侧设有外螺纹，所述铜环体(2)包括第一环体段(21)、第二环体段(22)，所述第二环体段(22)外侧设有内螺纹，其内侧设有外螺纹，与所述第二圆柱段(12)外侧的外螺纹配合连接。
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