[发明专利]一种氧化板的退镀方法在审

专利信息
申请号: 201811424792.X 申请日: 2018-11-27
公开(公告)号: CN109321920A 公开(公告)日: 2019-02-12
发明(设计)人: 张继月;贺贤汉;董卓懿 申请(专利权)人: 上海申和热磁电子有限公司
主分类号: C23F1/36 分类号: C23F1/36
代理公司: 上海顺华专利代理有限责任公司 31203 代理人: 顾兰芳
地址: 200444 上海市宝*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要: 发明涉及半导体加工技术领域。一种氧化板的退镀方法,包括如下步骤,步骤一,对氧化板上的镀膜进行喷砂去膜;步骤二,选取至少三个氧化板作为试片,进行实验:使用千分尺测量氧化板厚度,然后开始第一次碱蚀,氧化板放入一级碱水槽3‑5分钟后取出,观察试片的镀膜刻蚀情况,清洗后放入硝酸中和2‑3分钟,中和后,放入二级碱水槽,再次碱蚀观察镀膜情况得出碱蚀时间;步骤三,对氧化板进行碱蚀处理实现镀膜的退镀。采用上述方法,退镀效果达到和铬酸同等水平。
搜索关键词: 氧化板 镀膜 退镀 放入 碱蚀 碱水槽 试片 半导体加工技术 千分尺测量 同等水平 硝酸中和 次碱 铬酸 观察 刻蚀 喷砂 去膜 清洗 取出 中和
【主权项】:
1.一种氧化板的退镀方法,其特征在于,包括如下步骤,步骤一,对氧化板上的镀膜进行喷砂去膜;步骤二,选取至少三个未经过使用的氧化板作为试片,进行实验:使用千分尺测量氧化板厚度,然后开始第一次碱蚀,氧化板放入一级碱水槽3‑5分钟后取出,观察试片的镀膜刻蚀情况,清洗后放入硝酸中和2‑3分钟,中和后,放入二级碱水槽,再次碱蚀观察镀膜情况得出碱蚀时间;步骤三,对氧化板进行碱蚀处理实现镀膜的退镀;氧化板是本色氧化工艺或者硬质氧化工艺制备的氧化板;针对于本色氧化工艺制备的氧化板,硬度为280‑320HV,碱蚀步骤如下:1)氧化板上料挂紧;2)进行第一次碱蚀,时间参考试片的碱蚀时间,吊起氧化板以后放入水冲洗槽进行冲洗去掉碱水,冲洗3‑5秒;3)放置在水洗槽中清洗3‑5秒吊起氧化板时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;4)放入硝酸中中和,中和时间参考试片的中和时间,后放入水洗槽中清洗3‑5秒吊起氧化板时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;5)再次碱蚀,再次碱蚀的时间参考试片再次碱蚀的时间,观察一下氧化板碱蚀情况,确保镀膜去除完毕后,放入水冲洗槽进行冲洗去掉碱水冲洗3‑5秒;6)再放置在水洗槽中清洗3‑5秒吊起板料时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;7)放入硝酸中中和2‑3分钟,后放入水洗槽中清洗3‑5秒吊起氧化板时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;8)对氧化板进行干燥;针对于硬质氧化工艺制备的氧化板,硬度为480‑520HV,碱蚀步骤如下:1)氧化板上料挂紧,2)进行第一次碱蚀,时间参考试片的碱蚀时间,吊起氧化板以后放入水冲洗槽进行冲洗去掉碱水,冲洗3‑5秒;3)放置在水洗槽中清洗3‑5秒吊起氧化板时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;4)放入硝酸中中和5分钟后,放入水洗槽中清洗3‑5秒吊起氧化板时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;5)再次碱蚀,再次碱蚀的时间参考试片再次碱蚀的时间,观察一下氧化板碱蚀情况,确保镀膜去除完毕后取出;6)再放置在水洗槽中清洗3‑5秒吊起板料时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;7)放入硝酸中中和5分钟后,放入水洗槽中清洗3‑5秒吊起氧化板时在用水喷淋对氧化板进行喷淋清洗;8)对氧化板进行干燥。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司,未经上海申和热磁电子有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201811424792.X/,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top