[发明专利]一种压电式MEMS喷墨打印头及制作方法有效
| 申请号： | 201811425039.2 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN111216452B | 公开（公告）日： | 2021-08-17 |
| 发明（设计）人： | 王莉;牛中会;黄菲;卢秉恒;冯佳华 | 申请（专利权）人： | 西安增材制造国家研究院有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14;B41J2/16 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 杨亚婷 |
| 地址： | 710300 陕西省西安市*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种压电式MEMS喷墨打印头及制作方法，采用SOI硅片作为振动板及喷嘴板的加工原料；将打印头的压力腔、引流孔及喷嘴孔结构全部集成设计在喷嘴板上；并在压力腔制作前就制作了金属薄膜层，利用该金属薄膜层作为ICP干法刻蚀压力腔的掩蔽层；另外，该掩蔽层在后期振动板与喷嘴板的键合时又作为键合金属层。本发明的压电式MEMS喷墨打印头制作方法与现有的MEMS喷墨打印头的制作方法相比总体工艺步骤更少，涉及工艺种类更少，尺寸精度更高、效率也更高，解决了现有压电式MEMS喷墨打印头制作方法涉及的工艺种类较多、振动板质量难以得到保证及键合所产生的潜在风险大的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 mems 喷墨 打印头 制作方法 | ||
【主权项】：
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