[发明专利]一种基于声表面波和固体反射层薄膜体声波组合谐振器在审
| 申请号： | 201811426038.X | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109245742A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 杭州左蓝微电子技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/205 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理事务所(普通合伙) 11226 | 代理人： | 李明 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市杭州经济技术开发*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种基于声表面波和固体反射层薄膜体声波组合谐振器，所述组合谐振器包括压电基片、温度补偿层、金属叉指、至少一组反射层、第一电极、压电层和第二电极；所述金属叉指形成在基片上方，所述温度补偿层形成于基片上方且覆盖金属叉指，所述反射层形成在温度补偿层上方，所述第一电极形成在反射层上方，所述压电层形成在第一电极上方，所述第二电极形成在压电层上方。本发明将声表面波谐振器与固体反射层薄膜体声波谐振器结合起来，使得组合谐振器能够有效发挥两种谐振器的性能优势。 | ||
| 搜索关键词： | 反射层 组合谐振 温度补偿层 第一电极 金属叉 压电层 薄膜体声波 第二电极 声表面波 薄膜体声波谐振器 声表面波谐振器 性能优势 压电基片 有效发挥 谐振器 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种基于声表面波和固体反射层薄膜体声波组合谐振器，其特征在于，所述组合谐振器包括依次堆叠的压电材料基板、金属叉指、温度补偿层、至少一组反射层、压电单元；其中所述金属叉指形成在所述压电材料基板上方，所述温度补偿层覆盖所述金属叉指，所述反射层形成在所述温度补偿层上方，所述压电单元形成在所述反射层上方，所述压电单元包括第一电极、压电层、第二电极所形成的堆栈结构，其中所述第一电极设置在所述反射层上方。
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