[发明专利]一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置及检测方法

摘要

一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置及检测方法涉及机械密封端面的平面度检测技术领域，解决了检测效率和测量准确度均较低的问题，包括实木主体盒、平晶托盘、平晶、干涉光源、CCD传感器、万向调节支架和计算机。实木主体盒的底座上设有平面镜，后侧板上设有毛玻璃，左侧板、右侧板和上板的内表面上设有黑色遮光层，上板上设有安装平晶托盘的槽孔；平晶放置在平晶托盘上，干涉光源安装在实木主体盒内，CCD传感器连接万向调节支架、拍摄并发送干涉条纹图像至计算机。本发明通过CCD传感器和万向调节支架，使干涉条纹清晰的呈现在计算机上，弥补了平晶检测平面度时测量结果难以高效准确读取的缺陷，提高零件检测效率和准确度。

主权项

1.一种航空件超高精度端面平面度检测成像装置，其特征在于，包括：实木主体盒，包括底座(1.1)、左侧板(1.2)、右侧板(1.3)、后侧板(1.4)和上板(1.5)，所述左侧板(1.2)、右侧板(1.3)和后侧板(1.4)均安装在底座(1.1)上，上板(1.5)安装在左侧板(1.2)、右侧板(1.3)和后侧板(1.4)上，底座(1.1)上表面上设有平面镜(1.6)，后侧板(1.4)上设有毛玻璃(1.7)，左侧板(1.2)、右侧板(1.3)和上板(1.5)的内表面上均设置有黑色遮光层，上板(1.5)上开设有槽孔(1.51)；安装在槽孔(1.51)上的平晶托盘(2)；可更换的放置在平晶托盘(2)上的平晶(3)，所述平晶(3)用于放置待检测零件；安装实木主体盒内的干涉光源，所述干涉光源发射的光经毛玻璃(1.7)散射到平晶(3)和待检测零件上形成干涉条纹、所述平面镜(1.6)反射干涉条纹；用于拍摄并发送平面镜(1.6)反射的干涉条纹图像的CCD传感器；连接且支撑CCD传感器的万向调节支架(5)；和连接CCD传感器的计算机(6)，所述计算机(6)用于接收与显示CCD传感器发送的干涉条纹图像。