[发明专利]一种缺陷检测设备及方法有效
| 申请号： | 201811429344.9 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN109459438B | 公开（公告）日： | 2023-06-20 |
| 发明（设计）人： | 刘红婕;王凤蕊;黄进;周晓燕;叶鑫;黎维华;孙来喜;石兆华;夏汉定;邓清华;邵婷 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01N21/64;G01N21/47;G01N21/01 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 刘杰 |
| 地址： | 621000*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种缺陷检测设备及方法，通过激光发射装置发出探测光，并使探测光辐照到待测样品上，形成信号光，然后通过分光装置将信号光中包含的散射光和荧光进行分离，使得荧光入射到第一探测装置成像，散射光入射到第二探测装置成像，进而通过控制装置处理第一探测装置采集到的荧光图像信息以及第二探测装置采集到的散射光图像信息，得到待测样品的表面缺陷信息以及亚表面缺陷信息。通过本发明提供的技术方案能够实现对待测样品的亚表面缺陷的无损检测，而且能够同时实现对待测样品的表面缺陷的无损检测，有利于节约缺陷检测的测试时间，提高测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 缺陷 检测 设备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测设备，其特征在于，包括：激光发射装置、分光装置、第一探测装置、第二探测装置以及控制装置，所述第一探测装置与所述第二探测装置均与所述控制装置电连接，其中，所述激光发射装置用于发出探测光，并使得所述探测光辐照到待测样品上，形成信号光，所述信号光包括所述探测光在所述待测样品的表面缺陷处发生散射而形成的散射光以及所述待测样品的表面缺陷和/或亚表面缺陷在所述探测光的激发下产生的荧光；所述分光装置用于将所述信号光中包含的所述散射光和所述荧光进行分离，使得所述荧光入射到所述第一探测装置成像，所述散射光入射到所述第二探测装置成像；所述控制装置用于处理所述第一探测装置采集到的荧光图像信息以及所述第二探测装置采集到的散射光图像信息，得到所述待测样品的表面缺陷信息以及亚表面缺陷信息。
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