[发明专利]栅板式痕量汞传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811430335.1 | 申请日： | 2018-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN110274933B | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 何镧;薛阿喜;刘佳琪 | 申请（专利权）人： | 杭州超钜科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/04 | 分类号： | G01N27/04 |
| 代理公司： | 杭州杭诚专利事务所有限公司 33109 | 代理人： | 王江成;杨燕霞 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市西湖*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种栅板式痕量汞传感器及其制备方法。栅板式痕量汞传感器包括带有进气口和出气口的壳体及设于壳体内的栅板，栅板将壳体分隔成上下两个腔室，栅板的顶面覆盖有汞感应薄膜层及与之相连的两个电极，汞感应薄膜层包括从上到下的银金复合纳米粒子薄膜层、金纳米薄膜层、金铬复合薄膜层和铬纳米薄膜层，壳体上嵌装有分别与两个电极相连的两个接线端子。痕量汞传感器的制备方法为：在栅板上制备汞感应薄膜层；通过光刻腐蚀形成两个电极；将栅板装入底座中；电极和接线端子相连，连接处再用导电银胶粘合；将顶盖盖在底座上并进行密封。本发明极大提高传感器的灵敏度和响应速度，感应信号强，测量量程广，不易受环境影响。 | ||
| 搜索关键词： | 板式 痕量 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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