[发明专利]大口径凸锥镜面形检测系统及检测方法有效
| 申请号： | 201811431705.3 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109612405B | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 卢云君;唐锋;王向朝 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种大口径凸锥镜面形拼接检测装置及检测方法，检测装置包含：波面测量干涉仪、干涉仪支架、平面标准镜、计算全息片、供待测凸锥镜放置的工件台；波面测量干涉仪安装在干涉仪支架上，工件台能够垂直于波面测量干涉仪光轴方向的360度旋转调节，且平行于波面测量干涉仪光轴方向的平移调节；待测凸锥镜的对称轴与工件台的旋转轴重合，待测凸锥镜的对称轴与波面测量干涉仪之间不共轴。本发明具有装置简单、测量效率高、测量口径范围大的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 口径 凸锥镜面形 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.大口径凸锥镜面形拼接检测装置，其特征在于包含：波面测量干涉仪(1)，平面标准镜(3)、计算全息片(4)和供待测凸锥镜(6)放置的工件台(5)；所述的工件台(5)能够垂直于波面测量干涉仪(1)光轴方向360度旋转调节，且能够平行于波面测量干涉仪(1)光轴方向平移调节，所述的波面测量干涉仪(1)、平面标准镜(3)和计算全息片(4)共轴，所述的工件台(5)的平移运动轴、待测凸锥镜(6)的对称轴和工件台(5)的旋转轴共轴；所述的计算全息片(4)衍射产生的锥面波前的中心轴与待测凸锥镜(6)的对称轴重合；所述的波面测量干涉仪(1)输出的一部分光经平面标准镜(3)反射后，反射光入射至波面测量干涉仪(1)，该波面测量干涉仪(1)输出的另一部分光经平面标准镜(3)透射后垂直入射至计算全息片(4)上，经过计算全息片(4)的衍射光垂直入射到待测凸锥镜(6)的表面，经待测凸锥镜(6)反射后，沿原光路返回，依次经计算全息片(4)、平面标准镜(3)透射后，透射光入射至波面测量干涉仪(1)；所述的反射光和透射光形成干涉，由波面测量干涉仪(1)采集干涉图得到待测凸锥镜(6)相应区域的面形信息。
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