[发明专利]一种基于对称结构的材料放气率测试系统及方法在审
| 申请号： | 201811431933.0 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109443983A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 卢耀文;刘志宏;杨传森;闫睿;余荣 | 申请（专利权）人： | 北京东方计量测试研究所 |
| 主分类号： | G01N7/00 | 分类号： | G01N7/00 |
| 代理公司： | 北京善任知识产权代理有限公司 11650 | 代理人： | 王大方;金杨 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明一种基于对称结构的材料放气率测试系统及方法，包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空计、机械泵、分子泵、第一至第八真空阀门、第一和第二进样阀门、恒温箱；机械泵通过第一真空阀门与分子泵的抽气出口连接，其抽气入口分别与第一真空计、第二第三第四真空阀门的一端连接；所述第三、第四真空阀门的另一端分别与第二、第四真空室连接；第二第四真空室分别通过第一、第二小孔元件与一三真空室相连通；第二真空计分别通过第五、第六真空阀门连接至第二、第四真空室，第三真空计分别通过第七、第八真空阀门连接至第一、第三真空室；第一、第三真空室上分别设置第一、第二进样阀门。本发明可大幅提高测量精度和测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空室 真空阀门 真空计 材料放气 测试系统 对称结构 进样阀门 小孔元件 分子泵 机械泵 测试效率 抽气出口 抽气入口 一端连接 恒温箱 测量 | ||
【主权项】：
1.一种基于对称结构的材料放气率测试系统，其特征在于，包括第一至第四真空室、第一和第二小孔元件、第一至第三真空计、机械泵、分子泵、第一至第八真空阀门、第一和第二进样阀门、恒温箱，其中恒温箱用于为系统提供恒温；所述机械泵分别与第一真空阀门、第二真空阀门的一端连接，且第一真空阀门的另一端与分子泵的抽气出口连接；所述分子泵的抽气入口分别与第一真空计、第二真空阀门的另一端、第三真空阀门的一端、第四真空阀门的一端连接；所述第三真空阀门的另一端与第二真空室连接，且第四真空阀门的另一端与第四真空室连接；所述第二真空室通过第一小孔元件与第一真空室相连通，及第四真空室通过第二小孔元件与第三真空室相连通；并且，所述第二真空计分别通过第五真空阀门、第六真空阀门连接至第二真空室、第四真空室，所述第三真空计分别通过第七真空阀门、第八真空阀门连接至第一真空室、第三真空室；所述第一真空室上设置第一进样阀门和第三真空室上设置第二进样阀门。
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