[发明专利]测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法在审
| 申请号： | 201811433184.5 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111239448A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 林祐贤;王伟州;张姗;蒋真正;其他发明人请求不公开姓名 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073;G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁礼君;阚梓瑄 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种测试机以及用于校准探针卡与待测器件的方法。测试机包括：载物平台，包括承载面，且能沿平行于所述承载面的方向移动和绕垂直于所述承载面的转轴转动；探针卡，设置有多根向靠近所述载物平台一侧伸出的探针；对位组件，包括：至少两个第一激光发射装置，能发射多束第一激光束，所述第一激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列；第二激光发射装置，能发射多束第二激光束，所述第二激光束沿垂直于所述承载面的方向依次排列，且所述第二激光束垂直于所述第一激光束。采用这种测试机进行对位，探针卡与待测器件之间对位较准确，同时还减少了人工放置探针卡的时间，提高了探针卡与待测器件之间对准的准确度，避免了探针卡的损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 测试 以及 用于 校准 探针 器件 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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