[发明专利]一种转台用自净化的真空吸旋转接头

摘要

本发明公开了一种转台用自净化的真空吸旋转接头，包括动态回转部件、静止部件，动态回转部件设有真空吸气路，动态回转部件高速旋转时，真空吸气路对工件吸紧；静止部件设有净化气路，动态回转部件与静止部件之间设有间隙，净化气路与间隙连通，净化气路通气对间隙进行净化。本发明增加了净化气路，当真空吸工作时候，净化气路为关闭状态，当真空吸结束时候，净化气路开启，将可能进入转台内部腔体、密封轴和密封套之间的小间隙的杂质吹出，保证整个回转接头结构的性能和寿命；迷宫结构密封降低进入杂质的风险；密封轴与密封套之间小间隙密封，可是实现高转速的旋转。

主权项

1.一种转台用自净化的真空吸旋转接头，包括动态回转部件、静止部件，其特征在于：所述动态回转部件设有真空吸气路，所述动态回转部件高速旋转时，所述真空吸气路对工件吸紧；所述静止部件设有净化气路，所述动态回转部件与所述静止部件之间设有间隙，所述净化气路与间隙连通，所述净化气路通气对间隙进行净化。