[发明专利]一种厚干膜显影工艺在审
| 申请号： | 201811434278.4 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111240161A | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 曾再兴;陈世彦;于德强 | 申请（专利权）人： | 江西一诺新材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 | 代理人： | 黄宗熊 |
| 地址： | 341600 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种厚干膜显影工艺，首先将干膜显影槽用去离子水清洗干净；其次向干膜显影槽中加入干膜显影剂；接着将待显影的基片可拆卸地与支撑框连接；然后将支撑框连同基片送入显影槽内的传送滚轮，喷淋浸泡；最后显影结束之后，取出已显影的基片，清洗干净，并吹干。本发明的有益效果：采用上述工艺经过多批次验证，该工艺使得厚干膜显影工艺的良品率起到很大的改善，显影后干膜倒塌不良率降低15％。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 厚干膜 显影 工艺 | ||
【主权项】：
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