[发明专利]一种探针接触式测试装置在审
| 申请号： | 201811435475.8 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109378282A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 董超;熊继光;秦校军;赵志国;邬俊波 | 申请（专利权）人： | 中国华能集团有限公司;中国华能集团清洁能源技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 田洲 |
| 地址： | 100031 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种探针接触式测试装置，包括太阳能电池片载具、载具底座和探针；太阳能电池片载具的中间部位设置有用于安装待测太阳能电池片的水平插槽；载具底座包括探针支架；探针支架内设有蜂窝状孔洞；若干探针安装在蜂窝状孔洞内；探针支架安装在太阳能电池片载具的底部，太阳能电池片载具的底部镂空，若干探针能够穿过太阳能电池片载具底部镂空区域与待测太阳能电池片上对应的电极紧密接触。本发明固定探针的探针支架内采用蜂窝状孔洞用以灵活调节探针的位置以适应被测电池电极，扁平圆盘式非尖锐性针尖探针的使用避免了现有技术中采用测试夹具对太阳能电池在夹取过程中的造成划擦损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池片 载具 探针支架 探针 蜂窝状孔洞 测试装置 底部镂空 探针接触 载具底座 太阳能电池 扁平圆盘 测试夹具 电池电极 固定探针 水平插槽 探针安装 尖锐性 电极 针尖 夹取 损伤 穿过 灵活 | ||
【主权项】：
1.一种探针接触式测试装置，其特征在于，包括太阳能电池片载具(1)、载具底座(2)和探针(3)；太阳能电池片载具(1)的中间部位设置有用于安装待测太阳能电池片的水平插槽(102)；载具底座(2)包括探针支架(201)；探针支架(201)内设有蜂窝状孔洞(204)；若干探针(3)安装在蜂窝状孔洞(204)内；探针支架(201)安装在太阳能电池片载具(1)的底部，太阳能电池片载具(1)的底部镂空，若干探针(3)能够穿过太阳能电池片载具(1)底部镂空区域与待测太阳能电池片上对应的电极紧密接触。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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