[发明专利]一种离子泵性能测试和优化装置及其测试和优化方法有效
| 申请号： | 201811436216.7 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109707612B | 公开（公告）日： | 2020-01-17 |
| 发明（设计）人： | 杨伟顺;蔺晓建;张喜平;刘建龙;蒙峻 | 申请（专利权）人： | 中国科学院近代物理研究所 |
| 主分类号： | F04B51/00 | 分类号： | F04B51/00 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 周天宇 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子泵性能测试及优化装置，装置包括：测试室(1)，用于容纳抽气部分(7)，以使抽气部分(7)抽取测试室(1)内气体；第二磁铁(2)，用于为离子泵的抽气部分(7)提供强度可变的磁场；真空计(3)，用于检测测试室(1)内的真空度；阀门(4)，用于控制测试室(1)的进气；计算机(5)，与真空计(3)和第二磁铁(2)连接，用于根据真空计(3)检测的真空度值变化率测试抽气部分的性能，并根据真空度值变化率控制第二磁铁(2)的磁场强度。另一方面本发明还提供了一种离子泵性能测试方法和优化方法，通过本发明可以得出离子泵的性能特性曲线，及最优的磁场强度和电场电压。 | ||
| 搜索关键词： | 离子泵 抽气 性能测试 测试室 真空计 磁铁 磁场 优化装置 变化率 测试 电场电压 控制测试 强度可变 性能特性 检测 阀门 进气 优化 抽取 容纳 计算机 | ||
【主权项】：
1.一种离子泵性能测试及优化装置，所述离子泵包括抽气部分(7)和第一磁铁，所述离子泵工作时，所述第一磁铁为所述抽气部分(7)提供强度固定的磁场，其特征在于，所述装置包括：/n测试室(1)，用于容纳所述抽气部分(7)，以使所述抽气部分(7)抽取所述测试室(1)内气体；/n第二磁铁(2)，用于为所述离子泵的抽气部分(7)提供强度可变的磁场；/n真空计(3)，用于检测所述测试室(1)内的真空度；/n阀门(4)，用于控制所述测试室(1)的进气；/n计算机(5)，与所述真空计(3)和第二磁铁(2)连接，用于根据所述真空计(3)检测的真空度值变化率测试所述抽气部分(7)的性能，并根据所述真空度值变化率控制所述第二磁铁(2)的磁场强度。/n
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