[发明专利]高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法在审
| 申请号： | 201811437178.7 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109457222A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 莫申波;周卫星 | 申请（专利权）人： | 合肥如一真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 合肥和瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 34118 | 代理人： | 王挺 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明为高温真空蒸发离化镀膜装置及其操作方法，涉及镀膜技术领域，包括高温真空密闭的炉体，设于炉体内部的蒸发源，一端伸入炉体内部的电子枪，所述电子枪发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪包括金属套管、可自持放电的中空钽管；所述中空钽管与金属套管之间还设置有导通连接两者的固定锁母；所述金属套管进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管；所述蒸发源与电子枪分别与电源的正极、负极连接。本发明拓宽了电子枪的使用范围，加大了蒸镀的功能涂层的适用领域，并且本发明的装置可以大大增加了工作气体的电离效率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子枪 高温真空 金属套管 蒸发源 蒸发 镀膜装置 工作气体 炉体内部 中空 离化 钽管 电子束 进气口 正极 导通连接 镀层金属 镀膜技术 负极连接 功能涂层 固定锁母 电离 放电 密闭 炉体 射入 伸入 通管 蒸镀 电源 发射 | ||
【主权项】：
1.高温真空蒸发离化镀膜装置，包括高温真空密闭的炉体(1)，设于炉体(1)内部的蒸发源(2)，电子射出端伸入炉体(1)内部的电子枪(3)，其特征在于：所述电子枪(3)发射出的电子束射入蒸发源内使得镀层金属蒸发；所述电子枪(3)包括金属套管(31)与可自持放电的中空钽管(32)；所述中空钽管(32)一端与金属套管(31)端部导通连接，另一端用于射出电子束；所述中空钽管(32)与金属套管(31)之间还设置有导通连接两者的固定锁母(37)；所述金属套管(31)进气口处插设有用于通入工作气体的气体通管(33)；所述蒸发源(2)与电子枪(3)分别与电源的正极、负极电性连接。
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