[发明专利]一种用于洗涤剂残留量检测的乐甫波器件结构及检测方法

摘要

本发明公开了一种用于洗涤剂残留量检测的乐甫波器件结构及检测方法。乐甫波器件为单端双通道延迟线型结构，叉指换能器采用单相单向换能器，器件的上、下两个通道上各设置两个反射栅，分别位于液体敏感区的左、右两侧，且四个反射栅对应的回波信号在时间上互不干涉。器件只需一个液体敏感区即可，其上半部分和下半部分分别为自由化、金属化两种不同的电学结构。以PDMS面板上与液体敏感区尺寸一致的凸台作为液槽，在液槽与液体敏感区之间加上PMMA双面胶实现紧密封合以避免漏液。采用人工神经网络模型分析方法，不仅可通过器件的脉冲回波信号特征值检测洗涤剂残留量浓度，还可实时监测环境温度，并消除环境温度变化对检测结果的影响。

主权项

1.一种用于洗涤剂残留量检测的乐甫波器件结构，其特征在于：乐甫波器件采用单端双通道延迟线型结构，包括压电基片（1）、叉指换能器（2）、第一反射栅（3）、第二反射栅（4）、第三反射栅（5）、第四反射栅（6）、压电薄膜（7）、液体敏感区（8）；其中，叉指换能器（2）沉积在压电基片（1）左侧；第一反射栅（3）、第四反射栅（6）沉积在压电基片（1）的上半部分构成乐甫波的第一传播通道；第二反射栅（4）、第三反射栅（5）沉积在压电基片（1）的下半部分构成乐甫波的第二传播通道；第一反射栅（3）、第二反射栅（4）、第三反射栅（5）、第四反射栅（6）的孔径均相等，且略小于叉指换能器（2）孔径的一半，使得乐甫波的两个传播通道彼此独立；液体敏感区（8）设置于第一反射栅（3）、第二反射栅（4）与第三反射栅（5）、第四反射栅（6）之间，其长度小于第二反射栅（4）与第三反射栅（5）之间的距离，宽度与叉指换能器（2）的孔径相等；压电薄膜（7）溅射在压电基片（1）表面并覆盖叉指换能器（2）、第一反射栅（3）、第二反射栅（4）、第三反射栅（5）、第四反射栅（6）、液体敏感区（8）。