[发明专利]一种在钛基底上制备TiO2多尺度微纳复合结构的方法在审
| 申请号： | 201811438799.7 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN109576640A | 公开（公告）日： | 2019-04-05 |
| 发明（设计）人： | 程永健;宋娟 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/35;C23C14/58 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及表面微纳米功能结构的制备技术领域，具体为一种在钛基底上制备TiO2多尺度微纳复合结构的方法。首先采用超快激光在去离子水或无水乙醇中对纯Ti片表面刻蚀制备一级微米结构，超声清洗；然后通过磁控溅射在激光刻蚀后的Ti片表面镀金膜；最后将镀金膜后的Ti片置于马弗炉中进行热处理，在微米结构表面制备二级纳米结构，获得结晶型TiO2多尺度复合微纳米结构。 | ||
| 搜索关键词： | 多尺度 制备 微纳复合结构 微米结构 镀金膜 钛基 复合微纳米结构 制备技术领域 热处理 表面刻蚀 表面制备 超快激光 超声清洗 磁控溅射 功能结构 激光刻蚀 纳米结构 去离子水 无水乙醇 结晶型 马弗炉 微纳米 | ||
【主权项】：
1.一种在钛基底上制备TiO2多尺度微纳复合结构的方法，其特征在于，具体步骤如下：首先采用超快激光在去离子水或无水乙醇中对纯Ti片表面刻蚀制备一级微米结构，超声清洗；然后通过磁控溅射在激光刻蚀后的Ti片表面镀金膜；最后将镀金膜后的Ti片置于马弗炉中进行热处理，在微米结构表面制备二级纳米结构，获得结晶型TiO2多尺度复合微纳米结构。
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