[发明专利]一种全对称解耦的直接输出频率加速度计在审
| 申请号： | 201811440708.3 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109374927A | 公开（公告）日： | 2019-02-22 |
| 发明（设计）人： | 李艳;曾浩轩;周迅;朱周宇 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学（北京） |
| 主分类号： | G01P15/097 | 分类号： | G01P15/097 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种全对称解耦的直接输出频率加速度计，所述加速度计结构为整体呈全对称分布；包括质量块(1)、第一检测弹性梁(2)、第二检测弹性梁(3)、第三检测弹性梁(4)、第四检测弹性梁(5)、第一谐振音叉(6)、第二谐振音叉(7)和外框架(8)；这种加速度计的设计特点在于：(1)采用直接输出频率，极大地减少信号损失，实现微弱信号检测。(2)采用全对称解耦结构，可以降低正交误差，提高加速度计的信噪比。(3)采用差动谐振结构，可以增加灵敏度，抑制大多数类型的共模干扰。(4)平面方案设计，易于适应线切割加工或MEMS相关工艺，易于小型化。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度计 弹性梁 全对称 输出频率 谐振 解耦 音叉 检测 加速度计结构 微弱信号检测 线切割加工 第二检测 方案设计 共模干扰 减少信号 解耦结构 谐振结构 正交误差 灵敏度 外框架 信噪比 质量块 差动 | ||
【主权项】：
1.一种全对称解耦的直接输出频率加速度计，其特征在于：所述加速度计结构为整体呈全对称分布；包括质量块(1)、第一检测弹性梁(2)、第二检测弹性梁(3)、第三检测弹性梁(4)、第四检测弹性梁(5)、第一谐振音叉(6)、第二谐振音叉(7)和外框架(8)；第一谐振音叉(6)和第二谐振音叉(7)组成驱动谐振系统；质量块(1)、第一检测弹性梁(2)、第二检测弹性梁(3)、第三检测弹性梁(4)、第四检测弹性梁(5)、第一谐振音叉(6)和第二谐振音叉(7)组成检测系统；第一检测弹性梁(2)和第二检测弹性梁(3)对称且沿y方向，第三检测弹性梁(4)和第四检测弹性梁(5)对称且沿y方向；第一检测弹性梁(2)和第二检测弹性梁(3)连接于质量块(1)与外框架(8)的顶部；第三检测弹性梁(4)和第四检测弹性梁(5)连接于质量块(1)与外框架(8)的底部；第一谐振音叉(6)和第二谐振音叉(7)沿x方向水平放置于外框架(8)与质量块(1)的中心；第一谐振音叉(6)和第二谐振音叉(7)通过谐振频率的改变感受从质量块(1)传递的惯性力。
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