[发明专利]一种谐振式硅微加速度计的非线性振动分析方法有效
| 申请号： | 201811440726.1 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109490574B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 李艳;张帅印;朱周宇;周迅;曾浩轩 | 申请（专利权）人： | 中国矿业大学（北京） |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;顾炜 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种谐振式硅微加速度计的非线性分析方法，包括：(1)建立谐振式硅微加速度计的非线性振动模型；(2)分析谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律；(3)设计谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法。谐振式硅微加速度计的非线性振动模型是以敏感结构振动特性为纽带，含有轴向拉力、轴向压力和残余内力的振动模型。谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律分析是依据弯曲系数，定量分析谐振敏感结构非线性振动频率响应曲线的弯曲程度，研究非线性振动影响因素及规律。谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法是根据敏感结构非线性振动引起的加速度计测量误差，建立非线性振动引起的频率输出模型，设计差动误差补偿结构，提出测量误差补偿方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 谐振 式硅微 加速度计 非线性 振动 分析 方法 | ||
【主权项】：
1.一种谐振式硅微加速度计的非线性振动分析方法，其特征在于：该方法包括步骤如下：第一步，建立谐振式硅微加速度计的非线性振动模型：分析谐振式硅微加速度计敏感结构的动力学模型和非线性振动条件，建立敏感结构的非线性振动模型；第二步，分析谐振式硅微加速度计的非线性振动影响因素及规律：引入弯曲系数，定量分析谐振敏感结构非线性振动频率响应曲线的弯曲程度，研究非线性振动影响因素及规律；第三步，设计谐振式硅微加速度计的非线性振动补偿方法：分析敏感结构非线性振动引起的传感器测量误差，建立非线性振动引起的频率输出模型，设计差动误差补偿结构，提出测量误差补偿方法。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国矿业大学（北京），未经中国矿业大学（北京）许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811440726.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
