[发明专利]装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备在审
| 申请号： | 201811441180.1 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN110616407A | 公开（公告）日： | 2019-12-27 |
| 发明（设计）人： | 徐旻生;庄炳河;王应斌;龚文志;李永杰;张亮 | 申请（专利权）人： | 爱发科豪威光电薄膜科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 44414 深圳中一联合知识产权代理有限公司 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明属于磁控溅射镀膜技术领域，尤其涉及一种装卸片装置以及磁控溅射镀膜设备，其中，装卸片装置包括装料机构和卸料机构，装料机构包括装料抓爪、装料驱动组件、装料升降组件以及装料吸持组件，卸料机构包括卸料抓爪、卸料驱动组件、装料升降组件以及卸料吸持组件。基于发明的结构，可以不断地将基片装载至挂片送料装置，以及在基片完成镀膜后，再从挂片送料装置上卸下来，整个过程不需要人工操作，可以连续不断地作业，极大地提高装卸片的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 装料 卸料 装卸片装置 驱动组件 升降组件 送料装置 卸料机构 装料机构 挂片 吸持 抓爪 磁控溅射镀膜设备 磁控溅射镀膜 基片装载 连续不断 人工操作 镀膜 装卸 | ||
【主权项】：
1.一种装卸片装置，与挂片送料装置配合使用，以将基片挂载至所述挂片送料装置，且在基片完成镀膜之后，再从所述挂片送料装置卸下基片，其中，所述挂片送料装置包括供所述基片粘附的基片架、用于装载基片架的载料小车以及用于驱动所述基片架沿一环路径循环运动并依次经过待装工位、待卸工位的驱动机构，所述基片架开设有左右方向贯通设置的挂料孔，其特征在于，所述装卸片装置包括：/n装料机构，包括装料抓爪、用于驱动所述装料抓爪作业左右方向往复运动以使所述装料抓爪置入或抽离所述挂料孔的装料驱动组件、驱动所述装料挂料驱动上下往复运动且往复运动于所述待装工位和装料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片驱动贴合至基片架且在基片粘贴至所述基片架后撤销对所述基片的吸持的装料吸持组件，其中，所述装料工位位于所述待装工位上方；/n卸料机构，包括卸料抓爪、用于驱动所述卸料抓爪作业左右方向往复运动以使所述卸料抓爪置入或抽离所述挂料孔的卸料驱动组件、驱动所述卸料挂料驱动上下往复运动且往复运动于所述待卸工位和卸料工位的装料升降组件以及用于真空吸持基片并将基片取离所述基片架且将基片移至预设位置后撤销对所述基片的吸持的卸料吸持组件，其中，所述卸料工位位于所述待卸工位上方。/n
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