[发明专利]一种石英坩埚及其石英坩埚多次涂层的工艺方法在审
| 申请号： | 201811443872.X | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109267148A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 陈培杰;马国瑞;霍志强;王凯;许建;郭谦;刘有益;高树良;谷守伟;高润飞 | 申请（专利权）人： | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/10 | 分类号： | C30B15/10;C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 010070 内蒙古自*** | 国省代码： | 内蒙古;15 |
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| 摘要： | 本发明提供一种石英坩埚及其石英坩埚多次涂层的工艺方法，包括气泡复合层、透明层和涂层，涂层包括第一涂层和第二涂层，气泡复合层、透明层、第一涂层与第二涂层从外至内依次设置，在石英坩埚透明层表面涂覆一层钡溶液；在直拉单晶取段复投阶段加入碳酸钡，碳酸钡进入坩埚后位于石英坩埚的R角处。本发明的有益效果是使得石英坩埚结构简单，使用方便，便于直拉单晶时使用，具有碳酸钡涂层，减少硅溶液对石英坩埚的内壁的腐蚀，提高石英坩埚的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 石英坩埚 透明层 气泡复合层 直拉单晶 碳酸钡 碳酸钡涂层 表面涂覆 使用寿命 依次设置 硅溶液 内壁 坩埚 腐蚀 | ||
【主权项】：
1.一种石英坩埚，其特征在于：包括气泡复合层、透明层和涂层，所述涂层包括第一涂层和第二涂层，所述气泡复合层、所述透明层、所述第一涂层与所述第二涂层从外至内依次设置。
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