[发明专利]一种大尺寸基板蒸镀装置及利用该蒸镀装置制备CdTe太阳能镀膜的方法有效
| 申请号： | 201811446184.9 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109402573B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 宋寰欣;黄信二 | 申请（专利权）人： | 研创应用材料（赣州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/06 |
| 代理公司： | 南昌金轩知识产权代理有限公司 36129 | 代理人： | 文珊 |
| 地址： | 341000 江西省赣州市*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本发明提出一种大尺寸基板蒸镀装置以及利用该蒸镀装置制备CdTe太阳能镀膜的方法，该蒸镀装置包括蒸镀箱体，所述蒸镀箱体内固定有热屏蔽装置，所述蒸镀箱体的内顶壁上固定有镀膜基板，所述热屏蔽装置内固定有夹层盒本体和上坩埚，所述热屏蔽装置的四周开设有循环的一号蒸汽流道，所述夹层盒本体内开设有二号蒸汽流道，所述夹层盒本体的底壁上固定有加热器，所述上坩埚的下方固定有加热器，所述蒸镀箱体的正下方设置有下坩埚，所述下坩埚的正下方固定有加热器，本蒸镀装置可以应用于CdTe太阳能镀膜、以及其他各式二元或多元化合物材料膜层的镀膜制备中，不仅可以精准控制镀膜的成份组成，而且可以提高镀膜的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 尺寸 基板蒸镀 装置 利用 制备 cdte 太阳能 镀膜 方法 | ||
【主权项】：
1.一种大尺寸基板蒸镀装置，包括蒸镀箱体(1)，所述蒸镀箱体(1)的内部为空腔结构，其特征在于：所述蒸镀箱体(1)底部的四个边角处固定有支撑脚(11)，所述支撑脚(11)的底部固定有支撑板(12)，所述蒸镀箱体(1)内固定有热屏蔽装置(2)，所述热屏蔽装置(2)正上方的所述蒸镀箱体(1)的内顶壁上固定有镀膜基板(3)，所述热屏蔽装置(2)内开设有容纳腔(21)，所述热屏蔽装置(2)的四周开设有循环的一号蒸汽流道(22)，与所述镀膜基板(3)相对应的所述热屏蔽装置(2)上均匀开设有蒸汽通孔，所述容纳腔(21)的内顶壁上固定有夹层盒本体(4)，所述夹层盒本体(4)内开设有上下平行设置的二号蒸汽流道(41)，所述二号蒸汽流道(41)之间开设有蒸汽通孔，所述夹层盒本体(4)顶部的所述二号蒸汽流道(41)与所述一号蒸汽流道(22)相连通，所述夹层盒本体(4)的底壁上均匀固定有加热器(5)，所述夹层盒本体(4)下方的所述容纳腔(21)内固定有上坩埚(6)，所述上坩埚(6)下方的所述容纳腔(21)的腔壁上固定有加热器(5)，所述上坩埚(6)通过蒸汽管道与所述二号蒸汽流道(41)相连通，所述蒸镀箱体(1)的正下方设置有下坩埚(7)，所述下坩埚(7)的正下方的所述支撑板(12)上固定有加热器(5)，所述下坩埚(7)通过蒸汽管道与所述一号蒸汽流道(22)相连通，所述夹层盒本体(4)、上坩埚(6)以及下坩埚(7)的内壁上均安装有温度传感器器。
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