[发明专利]一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置

摘要

本发明公开了一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置，包括立杆和连接头，所述立杆的下方固定有通气管，且通气管的下方安装有防护罩，所述防护罩的内表面安装有出气盘，所述滑座的上方安装有支撑杆，所述连接头的下方与支撑杆的上端相互连接，且连接头的外侧通过承重架与承托盘相互连接，所述立杆的上端从下往上依次从连接头、承托盘和调控盒的表面贯穿，所述立杆的下端通过通气管与出气盘为贯通连接。该磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置，在拾取基片时，拉杆带动活塞进行上下移动，起到了对基片进行散热的作用，并且当活塞向上移动时，防护罩内部的一瞬间的气体小于外界的气压，从而便于将基片吸出。

主权项

1.一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置，包括立杆(1)和连接头(11)，其特征在于：所述立杆(1)的下方固定有通气管(2)，且通气管(2)的下方安装有防护罩(3)，所述防护罩(3)的内表面安装有出气盘(4)，且出气盘(4)的下表面开设有出气口(5)，所述防护罩(3)的上表面开设有导向滑轨(9)，且导向滑轨(9)的内部安装有滑座(8)，所述滑座(8)的上方安装有支撑杆(10)，所述连接头(11)的下方与支撑杆(10)的上端相互连接，且连接头(11)的外侧通过承重架(12)与承托盘(13)相互连接，所述立杆(1)的上端从下往上依次从连接头(11)、承托盘(13)和调控盒(14)的表面贯穿，且连接头(11)与立杆(1)的外壁为垂直滑动连接，所述承托盘(13)的上方安装有调控盒(14)，且调控盒(14)上表面的右端被第一把手(17)贯穿，所述立杆(1)的上端被拉杆(18)贯穿安装，且拉杆(18)的下端固定有活塞(19)，所述立杆(1)外侧上端安装有第二把手(21)，且第二把手(21)位于第一把手(17)的左侧，所述立杆(1)设置为中空的结构，且其的内壁与活塞(19)构成滑动摩擦结构，所述立杆(1)的下端通过通气管(2)与出气盘(4)为贯通连接。