[发明专利]具有静电导出作用的多自由度样品杆有效
| 申请号： | 201811450206.9 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN111261479B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | 王宏涛;张奕志 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20 |
| 代理公司： | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人： | 杜放 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种具有静电导出作用的多自由度样品杆，样品杆上设有纳米定位器，纳米定位器包括压件组件，压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件，纳米驱动器设有装载样品的套管，套管上装有锁紧样品的预紧螺钉，其特征在于：纳米驱动器的尾端设有静电导出件，预紧螺钉和静电导出件能够导电，纳米驱动器上设置有连通预紧螺钉和静电导出件的电通路，静电导出件与导线连接。本发明样品的待观测区域上的静电通过样品传递到预紧螺钉，预紧螺钉经纳米驱动器上的电通路到达静电导出件，静电导出件上的电流经导线向外引出，避免电子束照射到样品时样品的待观测区域上产生静电场而影响电子束成像。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 静电 导出 作用 自由度 样品 | ||
【主权项】：
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