[发明专利]一种滤波器探针测试方法有效
| 申请号： | 201811450858.2 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109799398B | 公开（公告）日： | 2020-10-02 |
| 发明（设计）人： | 袁蔚旻;夏明超;掌庆冠;张莉;孙昭苏 | 申请（专利权）人： | 无锡市好达电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00 |
| 代理公司： | 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 | 代理人： | 聂启新 |
| 地址： | 214124 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种滤波器探针测试方法，属于滤波器领域。该方法包括制作掩膜版，所述掩膜版上的图形包括多个谐振器图形和两个探针电极图形，所述两个探针电极图形与所述多个谐振器图形中的单组谐振器图形连接；在滤波器制作过程中利用所述掩膜版进行光刻，得到的滤波器中有一个单组谐振器连接两个探针电极；利用所述两个探针电极获取单组谐振器的探针波形；解决了现在探针测试方法获取的波形不稳定的问题；达到了令获取到的探针波形变化规律、易分辨，方便确定成品滤波器的中心频率的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤波器 探针 测试 方法 | ||
【主权项】：
1.一种滤波器探针测试方法，其特征在于，所述方法包括：制作掩膜版，所述掩膜版上的图形包括多个谐振器图形和两个探针电极图形，所述两个探针电极图形与所述多个谐振器图形中的一个单组谐振器图形连接；在滤波器制作过程中利用所述掩膜版进行光刻，得到的滤波器中有一个单组谐振器连接两个探针电极；利用所述两个探针电极获取所述单组谐振器的探针波形。
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