[发明专利]剥离装置

摘要

提供剥离装置，能够容易地以剥离层为起点将晶片从锭剥离，并且能够将剥离屑从所剥离的晶片的剥离面去除。剥离装置(2)至少包含：保持单元(4)，其对锭(50)进行保持；超声波单元(6)，其对保持单元(4)所保持的锭(50)赋予超声波而对剥离层(74)进行刺激；以及剥离单元(10)，其具有对要生成的晶片进行吸引保持的保持部(36)和从保持部(36)突出而围绕着要生成的晶片的外周的环状壁(38)。在环状壁(38)的内侧形成有多个喷射口(38a)，这些喷射口(38a)朝向从锭(50)剥离出的晶片(76)的剥离面(76a)喷射清洗水(W)而进行清洗。

主权项

1.一种剥离装置，其从将对于锭具有透过性的波长的激光光线的聚光点定位于距离锭的端面相当于要生成的晶片的厚度的深度而照射激光光线从而形成有剥离层的锭剥离出要生成的晶片，其中，该剥离装置至少包含：保持单元，其对锭进行保持；超声波单元，其对该保持单元所保持的锭赋予超声波而对该剥离层进行刺激；以及剥离单元，其具有对要生成的晶片进行吸引保持的保持部和从该保持部突出而围绕着要生成的晶片的外周的环状壁，在该环状壁的内侧形成有多个喷射口，这些喷射口朝向从锭剥离出的晶片的剥离面喷射清洗水而进行清洗。