[发明专利]一种太阳能电池生产用硅片检测装置在审
申请号: | 201811451526.6 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109449099A | 公开(公告)日: | 2019-03-08 |
发明(设计)人: | 李文龙 | 申请(专利权)人: | 甘肃众创动力电子科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/68 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 谈杰 |
地址: | 730100 甘肃省兰州市榆*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 本发明公开了一种太阳能电池生产用硅片检测装置,包括检测仪本体,所述检测仪本体的顶端设有顶盖,所述顶盖与所述检测仪本体固定连接,支撑部位于所述检测仪本体的前表面,且与所述检测仪本体固定连接,所述支撑部的上表面中间位置处设有工作台,所述工作台与所述支撑部固定连接;突起部的底端设有红外线发射管,执行部的上表面设有红外线接收器,红外线发射管发出的红外线投射到红外线接收器,能够起到对执行部进行限位的功能,通过红外线发射管和红外线接收器的作用,使得硅片检测装置实现自动化定位,且通过机械臂实现精确定位及重复性定位,将硅片检测装置发挥到最佳性能,给使用者带来便利。 | ||
搜索关键词: | 检测仪 检测装置 硅片 红外线发射管 红外线接收器 太阳能电池生产 顶盖 上表面 工作台 支撑部位 最佳性能 红外线 机械臂 前表面 突起部 投射 支撑 底端 限位 自动化 便利 | ||
【主权项】:
1.一种太阳能电池生产用硅片检测装置,其特征在于:包括检测仪本体(1),所述检测仪本体(1)的顶端设有顶盖(2),所述顶盖(2)与所述检测仪本体(1)固定连接,支撑部(3)位于所述检测仪本体(1)的前表面,且与所述检测仪本体(1)固定连接,所述支撑部(3)的上表面中间位置处设有工作台(4),所述工作台(4)与所述支撑部(3)固定连接,方形检测室(5)位于所述检测仪本体(1)的前表面中间位置处,且与所述检测仪本体(1)固定连接,突起部(6)位于所述方形检测室(5)的顶端,且与所述方形检测室(5)固定连接,滚珠丝杠(10)位于所述支撑部(3)的内侧壁左端,且与所述支撑部(3)固定连接,所述滚珠丝杠(10)的上表面设有安装部(7),所述安装部(7)与所述滚珠丝杠(10)固定连接,所述安装部(7)的上表面设有机械臂(8),所述机械臂(8)与所述安装部(7)固定连接,所述机械臂(8)的顶端设有执行部(9),所述执行部(9)与所述机械臂(8)固定连接,所述执行部(9)的上表面设有红外线接收器(11),所述红外线接收器(11)与所述执行部(9)固定连接,所述滚珠丝杠(10)的一端设置有电机,所述电机与外部电源电性连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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