[发明专利]一种发光二极管P型层结构及其外延结构及制备方法在审

专利信息
申请号: 201811452243.3 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN109326699A 公开(公告)日: 2019-02-12
发明(设计)人: 卢国军;马后永 申请(专利权)人: 映瑞光电科技(上海)有限公司
主分类号: H01L33/32 分类号: H01L33/32;H01L33/06;H01L33/00;H01L33/14;H01L33/12
代理公司: 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 代理人: 朱成之;周乃鑫
地址: 201306 上海市浦东新区*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开一种发光二极管P型层结构及其外延结构及制备方法,P型层结构是包含本征GaN、MgN和PGaN的多周期结构,本征GaN、MgN和PGaN从下到上依次生成,本征GaN为非掺杂GaN,P型层的周期n大于或等于3。二极管外延结构从下到上依次包含衬底、缓冲层、非掺杂层、N型掺杂层、多周期应力调节层、多周期量子阱发光区、P型电子阻挡层和P型层结构。本发明P型层结构是一种P型区域新结构,有效提高P型层的空穴浓度和迁移效率,能够加强空穴的注入效率,提升电子和空穴在MQW区域分布的均衡性,提高电子和空穴的复合几率,从而提高LED的发光效率。
搜索关键词: 空穴 本征 发光二极管 外延结构 多周期 制备 二极管外延结构 多周期结构 应力调节层 发光效率 非掺杂层 复合几率 区域分布 注入效率 发光区 非掺杂 缓冲层 均衡性 量子阱 新结构 衬底 迁移
【主权项】:
1.一种发光二极管P型层,其特征在于,所述P型层是包含本征GaN、MgN和PGaN的多周期结构,所述本征GaN、所述MgN和所述PGaN从下到上依次生成,所述本征GaN为非掺杂GaN;所述P型层的周期n大于或等于3。
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