[发明专利]用于Veeco K465i的清洁平台及其清洁方法在审
| 申请号： | 201811453909.7 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109261660A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 赵明明 | 申请（专利权）人： | 江苏中谷光电股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B9/032 | 分类号： | B08B9/032;B08B3/12;B08B13/00;F26B23/00 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 潘朱慧;朱成之 |
| 地址： | 226017 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于清洁Veeco K465i设备的尾气管路部件，包含至少两个相同的碱洗槽，用于浸泡尾气管路部件；至少两个相同的纯水水洗槽，用于冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，用于超声波冲洗尾气管路部件；本发明还提供一种利用所述平台对Veeco K465i的尾气管路进行清洁的方法，包含将对管路部件的拆解、除尘、置于KOH溶液浸泡、使用纯水冲洗、使用纯水超声波清洁、使用氮气吹扫、置于无氧化烤箱烘烤、部件组装等步骤。本发明的清洁平台结构简单，本发明的方法具有良好的清洁效果，操作方便，节约了企业对Veeco K465i设备的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 尾气管路 清洁平台 清洁 纯水超声波 冲洗 浸泡 部件组装 纯水冲洗 氮气吹扫 管路部件 烤箱烘烤 清洁效果 清洗装置 超声波 碱洗槽 水洗槽 除尘 拆解 节约 维护 | ||
【主权项】：
1.一种用于Veeco K465i的清洁平台，用于除去附着在Veeco K465i设备尾气管路内壁的灰尘，其特征在于，包含一体化设置的：至少两个相同的碱洗槽，用于放置碱性混合溶液，将尾气管路部件置于所述溶液中浸泡；至少两个相同的纯水水洗槽，用于通过纯水冲洗尾气管路部件；纯水超声波清洗装置，包含纯水超声波清洗槽；用于将尾气管路部件放置在所述纯水超声波清洗槽中，通过纯水和超声波进行清洁。
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