[发明专利]缺陷检测系统及缺陷检测方法在审
| 申请号： | 201811454359.0 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109596639A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 许平康;方桂芹;黄仁德 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛异荣;吴敏 |
| 地址： | 223302 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种缺陷检测系统及缺陷检测方法，系统包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。所述缺陷检测系统的性能得到提高。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷检测系统 图像获取模块 抽样特征 定位模块 分配模块 缺陷检测 特征缺陷 位置分析 坐标信息 抽样 晶圆表面 区域表面 图像信息 指令确定 晶圆 分析 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检测系统，其特征在于，包括：定位模块，所述定位模块适于获取晶圆表面缺陷的坐标信息；位置分析模块，所述位置分析模块适于对所述坐标信息进行分析，并确定出晶圆中的特征缺陷区域；抽样分配模块，所述抽样分配模块适于根据第一抽样数指令确定出各特征缺陷区域表面缺陷中的抽样特征缺陷；图像获取模块，所述图像获取模块适于获取各抽样特征缺陷的图像信息。
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