[发明专利]聚束电磁铁及带电粒子束照射装置

摘要

本发明提供使从大角度范围入射的带电粒子束偏转而聚束于等角点的聚束电磁铁。本发明提供聚束电磁铁，具备隔着带电粒子束的路径配置的线圈对，线圈对生成磁场朝向Z轴的有效磁场区域，Z轴正交于作为带电粒子束的行进方向的X轴的方向，在XY面，在偏转起点Q相对于X轴以偏转角φ偏转并入射的带电粒子束被有效磁场区域偏转，相对于X轴以照射角θ照射等角点，有效磁场区域的射出侧的边界上的任意点P2位于距等角点等距离r1的位置，有效磁场区域的入射侧的边界上的点P1和点P2位于半径r2及中心角θ+φ的圆弧上，在将偏转起点Q和等角点之间的距离设为L时，偏转起点Q和点P1之间的距离R满足关系式(4)。

主权项

1.一种聚束电磁铁，具备隔着带电粒子束的路径配置的线圈对，其特征在于，所述线圈对构成为，如果输入电流，就会生成磁场朝向Z轴的有效磁场区域，Z轴正交于作为带电粒子束的行进方向的X轴的方向，在此，将正交于X轴和Z轴双方的轴作为Y轴，在XY面，在偏转起点Q相对于X轴以偏转角φ偏转并入射到所述有效磁场区域的带电粒子束被所述有效磁场区域偏转，相对于X轴以照射角θ照射等角点，所述有效磁场区域的带电粒子束的射出侧的边界上的任意点P2位于距所述等角点等距离r₁的位置，所述有效磁场区域的带电粒子束的入射侧的边界上的点P1和所述点P2位于半径r₂及中心角(θ+φ)的圆弧上，在将所述偏转起点Q和所述等角点之间的距离设为L时，所述偏转起点Q和所述点P1之间的距离R满足关系式(4)：