[发明专利]一种耦合窗加热装置及具有其的电感耦合等离子处理装置有效
| 申请号： | 201811456769.9 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN111261483B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 刘海洋;邱勇;程实然;王铖熠;李娜;陈兆超;胡冬冬;许开东 | 申请（专利权）人： | 江苏鲁汶仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/20 |
| 代理公司： | 北京得信知识产权代理有限公司 11511 | 代理人： | 孟海娟 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种耦合窗加热装置及具有其的电感耦合等离子处理装置。耦合窗加热装置紧密贴合于耦合窗的上表面，包括：加热丝，加热丝外包覆有铜板，加热丝和铜板之间设置有第一绝缘层，耦合窗加热装置整体在一个平面内呈等螺距的螺旋状排布，加热丝的两端与加热电源的正负极相连接，铜板的两端与射频电源的正负极相连接。本发明的耦合窗加热装置，在为耦合窗提供均匀加热的同时，还能够起到增强感应线圈高频磁场的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耦合 加热 装置 具有 电感 等离子 处理 | ||
【主权项】：
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