[发明专利]一种吹扫接头装置及吹扫系统有效
| 申请号： | 201811458559.3 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109545720B | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 佘广超;敖海林;魏巍 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 智云 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供的吹扫接头装置及吹扫系统，在所述待吹扫装置需要进行吹扫时，通过开关控制所述活塞打开所述气道，以对所述待吹扫装置进行自动吹扫，这样无需对所述待吹扫装置进行人工拆卸清洁，可以避免人力的消耗以及增加待吹扫装置的运转时间；在所述待吹扫装置无需进行吹扫时，通过开关控制所述活塞封堵所述气道，所述吹扫气体源则无法进入所述待吹扫装置中，这样不会造成吹扫气体源的浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接头 装置 系统 | ||
【主权项】：
1.一种吹扫接头装置，其特征在于，包括：壳体；气道，设置在所述壳体内，其中，一端为吹扫气接入端，吹扫气接入端与一吹扫气体源连接，另一端为吹扫气接出端，与一待吹扫装置连接；活塞，用于打开或封堵所述气道，并可移动地设置在所述壳体中；以及开关，用于控制所述活塞封堵或打开所述气道。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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