[发明专利]一种硅基可调谐激光器有效
申请号: | 201811458780.9 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109361149B | 公开(公告)日: | 2020-01-07 |
发明(设计)人: | 冯朋;肖希;王磊;李淼峰;陈代高;张宇光;胡晓 | 申请(专利权)人: | 武汉邮电科学研究院有限公司;武汉光谷信息光电子创新中心有限公司 |
主分类号: | H01S5/06 | 分类号: | H01S5/06;H01S5/10 |
代理公司: | 42225 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) | 代理人: | 王维 |
地址: | 430074 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种硅基可调谐激光器,涉及硅基光子学与集成光电子学领域,包括:集成在硅基平台的半导体放大器;模斑转换器,其与半导体放大器的输出端相连,模斑转换器包括双倒锥波导;双倒锥波导分束器,其包括第一臂和第二臂,第一臂和第二臂的输入端分别与双倒锥波导相连;微环滤波器,其与第一臂级联,微环滤波器上设有加热器;以及分布式布拉格反射器DBR,用于实现光学反馈,形成于第一臂的输出波导上,DBR上设有加热器;本发明制作成本低、工艺简单、集成度高且利于大规模生产,并能提高波长调谐带宽与稳定性。 | ||
搜索关键词: | 第一臂 波导 倒锥 硅基 滤波器 半导体放大器 可调谐激光器 加热器 模斑转换器 第二臂 微环 分布式布拉格反射器 集成光电子学 输出端相连 波长调谐 光学反馈 硅基平台 输出波导 集成度 分束器 光子学 输入端 级联 带宽 制作 | ||
【主权项】:
1.一种硅基可调谐激光器,其特征在于,包括:/n集成在硅基平台的半导体放大器;/n模斑转换器,其与所述半导体放大器的输出端相连,所述模斑转换器包括双倒锥波导;/n双倒锥波导分束器,其包括第一臂和第二臂,所述第一臂和第二臂的输入端分别与所述双倒锥波导相连,且所述第二臂上设有加热器;/n微环滤波器,其与所述第一臂级联,所述微环滤波器上设有加热器;/n分布式布拉格反射器DBR,其用于实现光学反馈,所述DBR形成于所述第一臂的输出波导上,且所述DBR上设有加热器;以及/n相位控制器,其与所述第二臂级联,所述相位控制器上设有加热器,且所述相位控制器通过控制该加热器调谐相位。/n
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