[发明专利]铜蚀刻废液的处理方法有效
| 申请号： | 201811462696.4 | 申请日： | 2018-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN109368936B | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 萧作平;吴文彪;周伟;龙江;陈露;李雯;龙雯 | 申请（专利权）人： | 仙桃绿怡环保科技有限公司;东江环保股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F9/14 | 分类号： | C02F9/14;F23G7/04;B01D53/32;B01D53/18;C02F101/20 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 潘霞 |
| 地址： | 433000 湖北省仙*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种铜蚀刻废液的处理方法，包括：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气；调节第一废液的pH至8～10得到第二废液；将第二废液蒸馏得到馏出液和浓缩液；将馏出液生化处理得到净化液和第二废气；将浓缩液焚烧处理得到第三废气；及将第一废气、第二废气与第三废气用废气处理设备处理。上述铜蚀刻废液的处理方法能够有效控制铜蚀刻废液中过氧化氢的分解速度，提高过氧化氢分解的安全性，且处理过程中无臭气排出，不会污染环境。 | ||
| 搜索关键词： | 蚀刻 废液 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种铜蚀刻废液的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：将铜蚀刻废液在负载有催化剂的固体填料的作用下分解，得到第一废液及第一废气，所述催化剂选自过渡金属单质及过渡金属氧化物中的至少一种，所述固体填料为多孔材料；调节所述第一废液的pH至8～10，得到第二废液；将所述第二废液蒸馏，得到馏出液和浓缩液；将所述馏出液经生化处理，得到净化液及第二废气；将所述浓缩液焚烧处理，得到第三废气；及将所述第一废气、所述第二废气及所述第三废气用废气处理设备处理。
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