[发明专利]一种基于两级串联的准分子激光脉冲展宽方法和装置

摘要

本发明公开了一种基于两级串联的准分子激光脉冲展宽方法和装置，包括一个基于单分束元件、多个球面反射镜组成共焦谐振腔的前级脉冲展宽装置和一个基于双分束元件、多个球面反射镜组成共焦谐振腔的后级脉冲展宽装置。前级脉冲展宽装置采用单分束元件对入射激光束进行分束，经过共焦谐振腔产生不同光学延迟输出的光束与直接输出光束合并，形成脉宽展宽光束。后级脉冲展宽装置采用双分束元件对前级脉冲展宽装置展宽的光束进一步分束，经共焦谐振腔光学延迟后的输出光束，其脉冲宽度得到进一步展宽。本发明能够极大地提高激光脉冲展宽比率，进一步降低展宽后激光束的峰值功率，提高准分子激光光学系统中光学元件的使用寿命。

主权项

1.一种基于两级串联的准分子激光脉冲展宽装置，其特征在于：包括一个由单分束元件和共焦谐振腔组成的前级激光脉冲展宽装置，以及一个由双分束元件和共焦谐振腔组成的后级激光脉冲展宽装置，前级脉冲展宽装置中的单分束元件将入射激光束分为两束，一束光直接输出，另一束光进入共焦谐振腔，产生一定的光学延迟后再次入射到分束元件进一步分束，经共焦谐振腔不同循环次数输出的光学延迟光束与直接输出光束合并，形成脉宽展宽的输出光束；经前级激光脉冲展宽装置输出的光束进入后级激光脉冲展宽装置，后级激光脉冲展宽装置中的第一个分束元件将入射激光束分为两束，一束光进入共焦谐振腔，产生一定的光学延迟后入射到第二个分束元件，另一束光直接入射到第二个分束元件；第二个分束元件将每一束入射光束进一步分为两束，其中一束光进入光学谐振腔并产生一定的光学延迟后回到第一个分束元件进一步分束，另一束与其他被分束元件分光后直接输出或者经共焦谐振腔光学延迟后输出的光束合并，形成脉宽进一步展宽的输出光束。