[发明专利]一种清洗剂、制备方法及应用在审
| 申请号： | 201811464923.7 | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109456847A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 魏献忠;马辉东;李丽峰 | 申请（专利权）人： | 河北晶龙新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C11D1/825 | 分类号： | C11D1/825;C11D3/04;C11D3/30;C11D3/60 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 徐颖聪 |
| 地址： | 055550 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种清洗剂、制备方法及应用，该清洗剂含有：无机碱8‑15重量％，有机碱2‑9重量％，脱脂剂2‑15重量％，清洗助剂0‑4重量％，以及余量的水；并且所述清洗剂的游离碱度为50pt以上。根据本发明实施例的清洗剂能够高效的清除硅片表面的硅粉及残留有机物，降低硅片清洗的返洗率。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗剂 制备 残留有机物 硅片表面 硅片清洗 清洗助剂 游离碱度 脱脂剂 无机碱 有机碱 硅粉 应用 | ||
【主权项】：
1.一种用于清洗硅片的清洗剂，其特征在于,含有：无机碱8‑15重量％，有机碱2‑9重量％，脱脂剂2‑15重量％，清洗助剂0‑4重量％，以及余量的水；并且所述清洗剂的游离碱度为50pt以上。
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