[发明专利]压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201811465689.X | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109556768B | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 何可;陈明;程冠铭;冯叶;钟国华;李文杰;杨春雷 | 申请（专利权）人： | 深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G01L1/22 | 分类号： | G01L1/22 |
| 代理公司： | 深圳市铭粤知识产权代理有限公司 44304 | 代理人： | 孙伟峰;黄进 |
| 地址： | 518055 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种压力传感器及其制备方法，所述压力传感器包括相对设置的第一电极板和第二电极板，其特征在于，所述第一电极板包括第一衬底以及设置在所述第一衬底上的金属叉指电极，所述金属叉指电极的表面形成为粗糙表面；所述第二电极板包括一侧表面具有微结构阵列的第二衬底和覆设于所述微结构阵列上的复合金属层；其中，所述复合金属层与所述粗糙表面相互抵触连接。所述压力传感器在提高其灵敏度的同时又能保持器件循环的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，包括相对设置的第一电极板和第二电极板，其特征在于，所述第一电极板包括第一衬底以及设置在所述第一衬底上的金属叉指电极，所述金属叉指电极的表面形成为粗糙表面；所述第二电极板包括一侧表面具有微结构阵列的第二衬底和覆设于所述微结构阵列上的复合金属层；其中，所述复合金属层与所述粗糙表面相互抵触连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳先进技术研究院，未经深圳先进技术研究院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811465689.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
