[发明专利]一种线宽压窄模块及其调整方法在审
| 申请号： | 201811466121.X | 申请日： | 2018-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN109411994A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 王倩;吴劲松;赵江山;周翊;江锐;杨军红;辛茗;胡馨月 | 申请（专利权）人： | 北京科益虹源光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01S3/00 | 分类号： | H01S3/00;G02B27/09 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 100000 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出的一种线宽压窄模块及其调整方法，解决了线宽压窄模块的气域保护问题，可对线宽压窄模块中光学元件及光路进行惰性气体保护，并维持相对稳定的惰性气体环境，提高光刻用准分子激光器光谱输出的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 线宽 惰性气体保护 惰性气体环境 准分子激光器 光谱输出 光学元件 对线 光刻 光路 气域 | ||
【主权项】：
1.一种线宽压窄模块，其特征在于，包括密闭腔、与所述密闭腔连通的进气管和出气管，所述进气管上设有第一阀门，所述出气管设有第二阀门，所述密闭腔内容纳有用于调整激光线宽的棱镜组、用于承载所述棱镜组的棱镜组平台、光栅以及吹气管，所述吹气管与所述进气管连通，在工作时，由所述进气管向所述密闭腔中输送惰性气体，并由所述出气管排出空气，直至所述密闭腔中的惰性气体为正压时关闭或减小所述第一阀门。
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